CHINESE JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY

LIU Ming

Academician of Chinese Academy of Sciences

Institute of Microelectronics of the Chinese Academy of Sciences

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时间

主编

单位

副主编

1981年1月

金建中

兰州物理研究所 研究员

华中一、龚求初、郭元恒、何炜

1985年4月

郭元恒
何炜
王欲知

北京大学  教授
清华大学  教授
西南交通大学 教授

 

1990年2月

何炜

清华大学  教授

 

1994年7月

何炜

清华大学  教授

吴锦雷、沈学英、石方安

1999年12月

何炜

清华大学  教授

吴锦雷、刘鸿飞、程福懋

2004年11月

吴锦雷

北京大学  教授

刘鸿飞、李德杰、张万河

2009年11月

李德杰

清华大学  教授

刘鸿飞、侯士敏、金浩、雷威

2015年3月

李德杰

清华大学  教授

刘鸿飞、金浩、张群

2020年8月

刘明

中科院微电子研究所研究员

时东霞、顾宁、侯世敏、田修波
张远波、张余洋

 

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