1981年1月 创刊刊名为《真空科学与技术》。挂靠单位为兰州物理研究所
1986年3月 挂靠单位改为北京仪器厂
1987年第1期 获得国际标准刊号 ISSN号0253-9748
1988年第3期 获得国内统一刊号CN11-2098
1992年 起入选中国自然科学核心期刊：在300种1992-1993年中国自然科学核心期刊中，《真空科学与技术》名列第73位，是本学科唯一入选的期刊。
1993年第1期 获得广告经营许可证
1993年2月 挂靠单位改为电子工业部第十二研究所
1994年第1期 由美国国际CODEN中心确定了国际刊名代码为CKKSDV。
1994年 被美国化学文摘（CA）收录。
1994年 被英国科学文摘（SA）收录。
1996年3月 被美国工程信息公司（EI）定为EI Compendex数据库收录期刊。
1997年第1期 选入由北京大学图书馆和北京高校图书馆编辑出版的《中文核心期刊要目总览》。
2000年第1期 学报开本由小16开改为大16开。
2002年3月 挂靠单位改为北京北仪创新真空技术有限责任公司（原北京仪器厂）
2004年 更改刊名为《真空科学与技术学报》，中国标准刊号变更为ISSN 1672-7126,CN 11-5177/TB。学报的英文刊名为《CHINESE JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY》
2008年第2期 开始EI收录率达100﹪
2010年3月 与中国知网――中国学术期刊网络出版总库签定独家全文收录协议。
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